第1231章 重器入关！（2/2）

微电子所的研究员拿出手电筒，趴到地板上，照向工件台底部的导轨缝隙。

“磁悬浮平面电机。”研究员抬起头，“完全取消了传统机械导轨，通过洛伦兹力实现六自由度运动，才能完成纳米级精度的步进扫描。”

周老走到机器旁，手掌贴在金属外壳上。

“周老，这套工件台的套刻精度小于两纳米，一套做预对准，一套做曝光，两套系统无缝切换，这个机电伺服系统，就是国内研发一直迈不过去的坎。”张扬说道。

“现在有实物了。”周老收回手，“有实物，还能测动态响应数据，把参数测出来，就能反推他们的控制算法。”

“拆三号箱。”

第三个箱子装着核心光学镜组。

包装做得很严密。

四层防震材料拆开后，一个圆柱形的巨大金属仓露了出来。

光机所的李院士走到金属仓前，从衣兜里掏出高倍放大镜，凑近观察镜筒外部的接口标签。

“蔡司供的物镜系统。”李院士直起身，“数值孔径做到1.35，这套镜头组的折射率和面型精度，已经逼近工业制造的极限。”

张扬点了点头。

“这是浸润式光刻机的命脉，镜头和晶圆之间加入纯水，利用水的折射率，让193纳米光源获得百纳米级的等效波长。”

“蔡司为了做这套系统，用掉了欧洲最好的光学玻璃。”

雷总站在张扬身后，看着这台被拆成三个大件的机器。

“张扬，你打算怎么安排这些模块？”

张扬转过身，面对二十多名专家。

“各位，这台机器从今天起正式命名为‘龙腾001’。”

他指向身后的部件。

“我不打算把它拼装起来，拉去生产线流片赚钱，这台‘龙腾001’，将长期安置在亦庄实验室。”

几位所长相互对视一眼。

张扬接着说道：“三个模块，分别划拨给三个攻关小组。”

“光源系统，对接科益虹源和春城光机所，用它做深紫外光源的测试参照。”

“双工件台，对接清华机电团队和京都华卓，你们直接测量伺服参数，解析底层控制算法，把平面电机的数据全部跑一遍。”

“光学镜组，对接国望光学，你们把光学路径一点点测出来，看看蔡司的底牌到底长什么样。”

车间里响起一阵惊呼声。

张扬的算盘打得很直接。

国内半导体产业链不缺单点技术，缺的是系统工程的整合验证环境。

买这台机器，就是买一张完整的答卷，拿着答卷倒推解题步骤，比闭门造车快得多。

毕竟国内早些年的科技发展都是用的这个套路，尤其是在某些方面，甚至运用到了极致。

“扬天产业基金会提供无上限的资金支持，需要报废测试，我们就造国产零件换上去。”

“需要逆向拆解，只要装得回去，随便拆。”张扬看向周老，“周老，这台机器，我交给你们这些团队了。”

周老拄着拐杖，站在原地许久。

老人摘下无尘服配套的护目镜，用衣袖擦了擦镜片。

“张扬，你把路铺到这一步，剩下的硬骨头，我们这帮老家伙来啃。”

周老重新戴上护目镜，“三年内要是拿不出国产的平替验证机，我把这把老骨头埋在亦庄。”

张扬连忙摆手。

“周老，时间没那么紧，三年拿不出，我们就花五年。”

“米国人的制裁大棒还没全面落下，我们有抢跑的窗口期，现在是他们在明，我们在暗。”

他看向旁边一直盯着金属仓的李院士。

李院士围着光学镜组转了三圈。

他摸遍外部能接触到的固定接口，又用手电筒照亮底部透光孔，研究内部冷却液的循环流道。

雷总凑了过去。

“李院士，这镜组国内能仿出来吗？”

“仿？”李院士直起身，拍了拍膝盖。

“做不出蔡司一模一样的精度，但我们有自己的路线。”李院士指着镜筒边缘的冷却回路。

“蔡司在热补偿设计上取了巧。有了这个实物做对比参照，我们团队卡了两年的像差校正算法，下个月就能出结果。”

张扬走到李院士身旁。

“李院士，需要多久能完成镜组的逆向验证？”

李院士抬头看向张扬。

“只要给我们两年，我们能把国产物镜装进这个系统里！”